光刻机2.5d什么意思

光刻机2.5d什么意思

光刻机2.5d的意思是可以满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先进封装应用。光刻机2.5d是新一代先进封装光刻机主要应用于高密度异构集成领域，可满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先进封装应用需求，代表了行业同类产品的最高水平，可提供5G、AI、HPC高性能计算机群、物联网等高性能运闭茄算芯片的系统性能。

光刻机的用途

按照用途，光刻机可分为制造芯片用御厅光刻机、封装用光刻机、显示和MEMS微机电系统等领域用光刻机三大类。业界通常把集成电路，芯片轿拆察的制造称为前道工艺，封装称为后道工艺，所以制造芯片用光刻机也被称为前道光刻机，封装用光刻机则被称为后道光刻机。

标签：光刻机